**精密气浮转台_机械转台

**精密气浮转台_机械转台

随着工业自动化的发展，现在很多应用对精度的要求越来越高，无论是旋转运动还是直线运动。旋转运动目前用的比较多的是转台，转台又大体分为气浮轴承和机械轴承的两种：气浮特点是负载小、精度高，周跳径跳指标好，机械的是负载大、刚性好。目前公认精度较好的转台是被称为运动控制领域劳斯莱斯的AEROTECH。

Aerotech生产各种高精度旋转平台包含– 使用Aerotech生产之无刷伺服之直驱(DD)旋转平台，与涡杆传动旋转平台。旋转平台有许多种选项包含－不同尺寸之中空孔径 (Aperture)，台面大小，安装孔位选项等，为各种不同工业自动化应用之理想解决方案。Aerotech生产之旋转平台具有较佳的摆动 (Wobble)与偏转(Runout)特性，适用于工业机械手臂，光纤，光电，视觉检测系统，工具机，封装，半导体设备，医疗装置雷射加工，电子零件生产，与其他高性能工业自动化应用等。另外，Aerotech生产高性能驱动器与运动控制器，与高精度旋转平台整合成较高性能之运动系统。

•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转 (Zero cogging)伺服马达以提供较高之速度稳定性

•较佳的误差运动(Error Motion) 与偏转(Runout)特性

•直接耦合，高精度旋转编码器 (光栅)

•大尺寸中空口径

•完全无机械接触

ABRT系列空气轴承旋转平台提供**之角度定位精度，速度稳定性，与误差运动规格，同时维持大负载能力与轴向与径向刚性。ABRT可达到DVD刻板 (DVD ** stering)，晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电 /奈米装置生产之各种严苛要求。

2. ABRS精密气浮转台

•直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供较高之速度稳定性

•较佳的误差运动(Error Motion) 与摆动(Wobble)特性

•直接耦合，高精度旋转编码器 (光栅)

•平面式设计，降低平台高度

•完全无机械接触

ABRS系列空气轴承旋转平台提供**之角度定位精度，速度稳定性，与误差运动规格同时维持较低的平台整体高度。ABRS可达到晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电 /奈米装置生产之各种严苛要求。ABRS之特殊设计能够将平台高度降到较低。

3. ADRT精密转台

•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供较高之速度稳定性

•较佳的误差运动(Error Motion) 与偏转(Runout)特性

•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)

•大尺寸中空口径

ADRT系列机械轴承直驱旋转平台提供**之角度定位精度与速度稳定性，适用于取放设备，高速雷射加工，高精度晶圆检测等。大尺寸双轴承提供较高的性能并维持**之摆动 (Wobble)，侧向刚性，与重複精度。大尺寸之轴承提供高负载并维持高性能。

4. ADRS精密转台

•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达

•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供较高之速度稳定性

•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)

•较低的平台高度降低工作高度

ADRS之设计理念是将平台高度降到较低。较低的平台高度降低累加误差，另外，ADRS提供中空孔径可以提供物件通过如雷射光束传导。ADRS具有较低的保养需求与高产能，提供使用者较低的拥有成本。