AGV-HP高精度热稳定的振镜扫描仪

AGV-HP高精度热稳定的振镜扫描仪

AGV-HP振镜满足运动和PSO（位置同步输出）功能，可以同时保证运动平台与振镜的整体联动

Nmark AGV-HP（O）高精度，热稳定的振镜扫描仪

设计特点

可用的高精度扫描仪在整个视场中达到单位微米级的精度

光学反馈技术大大提高了热稳定性

与Aerotech的Nmark GCL控制器一起使用时，业界很高的分辨率> 24位

各种光圈和焦距

适用于各种激光波长的多种镜面处理选择

准确性和稳定性的

AGV-HP扫描仪系统上使用的高度可重复且热稳定的反馈传感器可以在整个视场内校准至单位个数微米级的精度（参见下图）。凭借位置传感器的低的热增益漂移性能，需要很长时间才能完成的复杂的高密度激光加工应用将在整个过程的生命周期内保持一致的微米级特征放置精度。同样，高通量应用程序将保持一致的零件间质量，而*在零件之间重新校准。为了获得热稳定性，AGV-HP扫描仪可以配备水冷装置，以在负载变化，环境温度变化或输入光圈夹住光束的情况下稳定设备的工作温度。

实时过程可视性

可以实时捕获和分析AGV-HP（O）镜的位置。通过直接访问扫描仪的位置，用户不再需要编程延迟参数来补偿伺服系统中的滞后和跟踪误差。可以在标记零件之前优化工艺，从而节省时间并减少材料浪费。激光的状态也可以基于就位和速度标准进行控制，从而进一步降低了编程复杂度。

编程功能

AGV-HP（O）利用了Aerotech的所有运动和PSO（位置同步输出）功能，这些功能是为基于传统伺服的激光加工应用开发的。诸如“加速限制”之类的轮廓功能可用于自动减小急转弯或小半径时的速度，以减小过冲。可以基于带有PSO的反射镜的位置反馈来触发激光，以确保随着扫描仪速度的改变，一致的光斑重叠。Aerotech的无限视场（IFOV）功能无缝地结合了伺服和扫描仪的运动，从而在伺服平台的整个行程中扩展了扫描仪的标记功能，从而消除了在更传统的移动-曝光-重复过程中可能发生的缝合错误。

设计选择

AGV-HP（O）系列具有10、14、20和30毫米的输入光圈，并可直接从Aerotech装备F-Theta或远心镜头。用户还可以直接从值得信赖的供应商处购买聚焦光学器件，而Aerotech提供了一个定位环，以确保通过光学器件的背反射不会损坏扫描镜。支持各种紫外线，可见光，红外线和二氧化碳波长的镜面涂层。还提供针对**快激光进行了优化的涂层。

机械规格

模型 AGV10HP（O） AGV14HP（O） AGV20HP（O） AGV30HP（O）

光学性能

光束孔径 10毫米 14毫米 20毫米 30毫米

扫描角度 ±20°

光束位移 13.0毫米 18.0毫米 25.1毫米 35.7毫米

反馈分辨率 0.007微弧度（26位）

抖动（小增量运动）（2） 均方根值 0.2 µrad

准确性 50微弧度pk-pk

重复性（3） 0.4 µrad RMS

增益误差 0.05弧度

非线性度 0.005％

动态表现

追踪误差 0微秒

峰值加速度（4,5） 288,000 m / s 2 224,000 m / s 2 80,000 m / s 2 56,000 m / s 2

连续加速（4，6） 75,200 m / s 2 56,000 m / s 2 20,800 m / s 2 19,200 m / s 2

定位速度（4） 75 m / s 75 m / s 50 m /秒 50 m /秒

打标速度（ 4、7、8 ） 5 m /秒 5 m /秒 5 m /秒 5 m /秒

跳跃和稳定时间，移动1毫米（ 4，9 ） 270微秒 270微秒 450微秒 700微秒

稳定性

长期漂移（3） 偏移量 10 µrad / 12小时

15微弧度/

获得 10 ppm /

热漂移 偏移量 10微弧度/°C

获得 1 ppm /℃

机械规格

重量 4.0公斤 4.3公斤 5.0公斤 5.8公斤

材料 铝（黑色阳氧化和蓝色油漆）

MTBF（平均无故障时间） 20,000