溅射真空离子泵

溅射真空离子泵具有极限压力低、体积小、重量轻等优点。它适合于抽吸空气或惰性气体，在抽气过程中无振动。广泛应用于各种**高真空的科研装置和工业设备，涉及的行业有仪器仪表、粒子加速器、同步辐射光源、大功率激光研究、表面物理、材料科学、空间模拟、电子显微镜、质谱仪、通讯、真空校准、真空冶炼、真空镀膜、半导体应用设备、真空电子器件、医疗等行业。
SKY溅射离子泵结构采取仿真及优化设计，在1X 10-7Pa真空度条件下具有不低于名义抽速的85%抽气能力。
在较高真空(XHV) 区域，SKY溅射离子泵仍有较大抽气能力。使用符合国家检测标准的检测装置，得到低至3. 6x10-10Pa  的检测压力。通过优化设计的高端S IP400A溅射离子泵，极限压力测试的下限已进入10-11Pa。