激光脉冲沉积镀膜设备

1.?? 溅射真空室组件1套,球型真空室尺寸Ф300mm，选用真空专用
304#不锈钢材料制造氩弧焊接，表面进行喷玻璃丸处理。各法
兰口按超高真空系统设计，采用金属密封。
2.?? 采用一套600L/S分子泵+4L/S机械泵通过CF150超高真空闸
板阀进行主抽，通过CF35角阀旁抽。
3.?? 封接观察窗2个， Ф100石英玻璃窗口1个(248nm紫外波段，
供激光入射用的)
4.?? 电磁隔断放气阀：（北京）KF40? 1台。
5.?? 分子泵与机械泵连接金属波纹管? 1套； 机械泵与真空室之间的
旁抽金属波纹管管路及CF35角阀1套。
6.?? CF150闸板阀：用于分子泵与真空室隔离。
7.?? 真空测量及电控系统1套，ZDF数显复合超高真空计（全部采
用金属规管）???????????????? 1台 。
8.? 总控电源：为机械泵、真空计等提供电源，有断电断水缺相保护
功能1套。
9.? 机架：优质方钢型材（40mm×40mm×3），焊接成，，四只脚
轮，可固定，可移动。
10.附件相关规格的金属密封铜圈，氟橡胶密封圈全套不锈钢紧固螺
栓、螺母、垫片等；全套无氧铜密封垫圈（相关规格）CF16：3
个；CF35：3个；CF150：2个；CF100:4个；
11.相关的技术资料各类外购件使用说明书：设备结构原理图及关键部件结
构图（1套）电控系统原理结构图（1套）装箱单（1套）设备出厂合
格检验证明（1套
11.工作条件及主要技术参数：供电：～380V三相五线供电系统（容量
5KW）。相对湿度；≤80﹪。