①调试前要对调试中所用的仪器仪表进行调试和标定(**过使用时间还需重新进行标定)。所用的仪表包括测量风速、风量、温度、相对湿度、压差、噪声、振动、转数、时间、大气压力和洁净度的仪器仪表等。
②调试所用的器材、工具的准备。如:电工工具、管工工具、扳金工工具、钳工工具以及爬高上下的梯子等。并且请施工单位配合电工、管工、扳金工和钳工
③调试和测试工作所用的图纸和记录表格的准备。
1、半导体集成电路要求的空气洁净度等级
集成电路生产环境要求的空气洁净度等级主要取决于集成电路的集成度,不同工序的空气洁净度等级是依据可能污染的概率和对器件的潜在故障确定的。
举例说明:
例一、某厂集成电路前工序洁净厂房,无尘车间设计按加工、生产6英寸硅片、1m集成电路,图形特形尺雨1.0um,控制粒子粒径0..1um.
无尘车间空气洁净度等级要求:
产品说明:
门体材料:门框材质2.0mm厚冷轧板钢构,经折边加工和优质烤漆工艺处理而成,颜色可选择
动力性能:**刹车制动马达,功率0.55-1.5kw,电源220v/380v,制动电压220v。
控制系统:微电脑变频控制电箱
控制电压:安全低压24vdc。
开启速度:1.5-0.8m/s(变频可调速)
门帘材料:高密度聚氯乙烯涂层热熔织物,材料厚度1.0mm-1.2mm,多色可选。
门帘抗拉强度:175kn/m
防火级别:德国标准mzd/nbl难燃。
使用温度:-10℃+70℃/**耐寒区域-40℃。
透明视窗:pvc透明软板,材料厚度1.50mm,增加了安全及管理方便性,配整体横向透明视窗。
抗风能力:25m/s配铝合金防风助条。
密封性能:底端装有弹性的pvc基布,可与不平坦的地面紧密贴合。门框滑道装有密封毛刷,可减少噪音及增加防尘、防虫效果。
开关方式选择:
雷达感应、地磁感应、拉绳开关、遥控开关、按钮开关、红外线感应、互锁功能等等
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净化车间地坪的要求
核心提示:在净化车间工程中,对地坪的施工要求要做好如下几点:镘涂地坪质量要求:平整、光滑、均匀、无刀痕和接口。镘涂是采用带齿的金属
在净化车间工程中,对地坪的施工要求要做好如下几点:
镘涂地坪质量要求:平整、光滑、均匀、无刀痕和接口。
镘涂是采用带齿的金属镘刀,对黏涂料进行厚膜涂装的施工方法。
一般用于涂装自流平地坪涂料。无溶剂自流平地坪涂料采用带齿镘刀或者料耙耙镘涂的方法施工。由于镘涂一道形成的涂层较厚,会直接影响涂层表面的平整度、光滑度,关系到面涂层的装饰效果等涂层质量。因此,镘涂施工操作人员的手法要正确、熟 练,基本工要扎实。
镘涂主要用于无溶剂自流平地坪涂料施工。施工工具为镘刀:将涂料各组分分别搅拌均匀,按比例调配并充分搅拌,用过滤网过滤,除掉杂质颗粒,倒于镘涂起始位 置的地板上,先镘涂边角,再用力按住镘刀,使其与地面倾斜成一定角度,顺着地面刮平。左右来回反复刮涂,注意将搭接处用刀收平整。如果左右用力不均或者刀尖用力不当时,会产生接缝或刀痕。镘涂自流平地坪涂料时,要求地板表面平整和水平。
适用范围:
(二)洁净室的净化工程单机试车
单机试车是对工程中的所有的设备、配件等单体进行试车。单机试车的目的是对这些设备、配件的安装质量和产品出厂质量的检查和考核。单机试车的主要内容有:
水、电**。即首先对供水供电的设备和系统进行检查和考核。如水泵、变压器、配电箱、开关等。要保证供水、供电的正常、可靠。
进而,对供冷设备(冷冻机、冷却塔、冷冻水泵、冷却水等)、供热设备(锅炉、换热器、热水泵等)、空调设备(表面冷却器、加热器、加湿器、过滤器、风机等)、自动控制设备、仪表、阀门以及各系统的配件进行单体考核。看是否能满足设计要求和正常运行。尤其对转动设备如风机、水泵要试转看是否运转平稳,有无杂音和碰撞和反转现象;用电设备接线是否正确;冷冻机和锅炉是否能达到设计要求;空调器中表冷器的降温去湿能力、加湿器的加湿能力等等进行单体检查、考核。如果出现故障和发现问题,应立即排除。
对于大型设备如冷冻机、锅炉、空调器等(尤其是进口设备)在单机试车时有生产厂家的调试人员现场指导或由生产厂家负责试车,待运转正常后再移交给使用单位。单机试车为联动调试做好各个单体设备的准备工作。